[实用新型]坩埚杆及直拉单晶炉

权利要求书

1.一种坩埚杆，其特征在于，所述坩埚杆的内部具有冷却水循环管路，并且所述冷却水循环管路沿着所述坩埚杆的高度方向设置；所述冷却水循环管路的进水口(1)和至少一个出水口(2)均设置在所述坩埚杆的底部。

2.根据权利要求1所述的坩埚杆，其特征在于，所述坩埚杆的顶部向内凹陷形成“V”字型卡槽(8)，用于放置坩埚(6)。

3.根据权利要求2所述的坩埚杆，其特征在于，所述冷却水循环管路包括进水管路(3)和连通所述进水管路(3)的至少一个回水管路(4)，所述进水口(1)连通所述进水管路(3)，所述出水口(2)连通所述回水管路(4)。

4.根据权利要求3所述的坩埚杆，其特征在于，所述进水管路(3)为柱状结构；所述进水管路(3)位于所述坩埚杆的中部，所述进水口(1)位于所述坩埚杆的底部中心处；所述进水管路(3)的进水端连通所述进水口(1)，所述进水管路(3)的出水端设置在所述卡槽(8)的正下方，并与所述回水管路(4)连通。

5.根据权利要求4所述的坩埚杆，其特征在于，所述回水管路(4)以及所述出水口(2)分别设置有两个，所述两个回水管路(4)相对设置在所述进水管路(3)的两侧，所述两个出水口(2)相对设置在所述进水口(1)的两侧；所述两个回水管路(4)的进水端分别与所述进水管路(3)的出水端连通，所述两个回水管路(4)的出水端分别与所述两个出水口(2)连通。

6.根据权利要求5所述的坩埚杆，其特征在于，所述两个回水管路(4)均沿着所述卡槽(8)的侧壁以及所述坩埚杆的侧壁分布，并且所述回水管路(4)的至少部分呈波浪线结构，用于冷却水的缓慢流动。

7.根据权利要求1所述的坩埚杆，其特征在于，所述出水口(2)为缩口结构，用于冷却水充满所述冷却水循环管路。

8.根据权利要求1所述的坩埚杆，其特征在于，所述坩埚杆为不锈钢材质加工而成。

9.一种直拉单晶炉，其特征在于，包括炉体(5)、坩埚(6)、密封结构(7)和权利要求1-8任一项所述的坩埚杆，所述坩埚杆通过所述密封结构(7)安装在所述炉体(5)的底部，所述坩埚(6)与所述坩埚杆的卡槽(8)适配。