[实用新型]一种低真空氛围靶材制备系统有效
| 申请号： | 201922414210.6 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN213295474U | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 蔺裕平;韩刚库 | 申请（专利权）人： | 梭莱镀膜工业(江阴)有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/134 | 分类号： | C23C4/134;C23C4/137 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王凯 |
| 地址： | 214437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种低真空氛围靶材制备系统，喷涂密封舱(101)内安装有靶材驱动总成；靶材驱动总成包含有位于喷涂密封舱(101)底面上的滑轨(302)，有一滑板(301)滑动行走于滑轨(302)上，所述滑板(301)的右端竖向固定设置有右端板(401)，左端板(402)竖向固定设置于移动板(403)上，靶材(1)的两端通过端头夹持件(2)分别架设于右端板(401)和左端板(402)上，安装于滑板(301)上的旋转电机(405)经端头夹持件(2)驱动靶材(1)旋转。本实用新型一种低真空氛围靶材制备系统，其能够在真空环境下进行喷涂，从而保证靶材的喷涂质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 氛围 制备 系统 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
