[实用新型]一种靶材出荷形式改变结构有效
申请号: | 201922353785.1 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN211474611U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 丁静仁;常艳超;中村晃;尤小磊;徐东起;董意男;程小明;王冬振;董常亮;高奇峰 | 申请(专利权)人: | 爱发科电子材料(苏州)有限公司 |
主分类号: | F16B11/00 | 分类号: | F16B11/00;B25B27/14 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 丰叶 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种靶材出荷形式改变结构,包括工作台,工作台一端固定连接有侧板,侧板远离工作台的一端固定连接有顶板,工作台上固定设置有上料机构和加热机构,上料机构通过液体金属合金能将靶材和背板粘合并带动粘合后的靶材和背板与加热机构接触,加热机构包括发热组件和固定设置在工作台上的固定柱,固定柱上设置有凹槽,发热组件固定设置在凹槽内壁上,设置有发热组件的凹槽尺寸大于背板尺寸,上料机构带动粘合后的靶材和背板与发热组件接触,本实用新型的目的在于提供一种能将靶材与背板分离的靶材出荷形式改变结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 靶材出荷 形式 改变 结构 | ||
【主权项】:
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