[实用新型]一种平面溅射靶材快速冷却装置有效
| 申请号： | 201922330056.4 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211394612U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郭文明 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面溅射靶材快速冷却装置，冷却装置包括机架、设置在机架顶部的冷却平台以及至少一个吹风装置，吹风装置固定在冷却平台的下方，吹风装置的吹风方向朝向冷却平台的底部；冷却平台呈镂空设置，冷却平台包括多个托块，各托块分别沿冷却平台的长度方向间隔设置。与现有技术相比，本实用新型提供了一种开放式的冷却平台装置，工件转移方便，缩短了绑定靶材的冷却时间，提高靶材绑定的速率，降低靶材收缩变形的程度，减少靶材校直工序的工作量，进一步提高了企业的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 溅射 快速 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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