[实用新型]一种固体MO源钢瓶有效
| 申请号： | 201922323104.7 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211118730U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 郑江;薛亮 | 申请（专利权）人： | 常熟制药机械厂有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C13/00 |
| 代理公司： | 苏州市小巨人知识产权代理事务所(普通合伙) 32415 | 代理人： | 凌立 |
| 地址： | 215500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种固体MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的MO源钢瓶本体，MO源钢瓶本体内设有同轴内衬套瓶，同轴内衬套瓶将MO源封装空间分隔为外周MO源封装空间和内周MO源封装空间；外周MO源封装空间的下端包括第一锥面，内周MO源封装空间的下端采用第二锥面，第二锥面的锥度大于第一锥面的锥度，且外周MO源封装空间底部与内周MO源封装空间底部连通；MO源钢瓶本体的上端部分别设置惰性气体进气管、MO源出气管、第一MO源充装口和第二MO源充装口；本实用新型可以明显改善固体MO源在钢瓶底部的沉积问题，最终有效提高了本实用新型固体MO源钢瓶的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固体 mo 钢瓶 | ||
【主权项】：
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