[实用新型]铝溅射靶材用熔铝电阻炉装置有效
申请号: | 201922307052.4 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211527079U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 邢伟亮 | 申请(专利权)人: | 中诺新材(北京)科技有限公司 |
主分类号: | F27B14/06 | 分类号: | F27B14/06;F27B14/08;F27D1/18 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 何佳 |
地址: | 100089 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种铝溅射靶材用熔铝电阻炉装置,包括炉体和炉盖,炉盖位于炉体上端,炉盖包括分别通过固定装置固定在炉体上端的半圆形的左滑盖和半圆形的右滑盖,左滑盖和右滑盖均等拼合形成圆柱体,固定装置包括与炉盖连接的连接板、与连接板一体成型的旋转轴和套设在旋转轴内的固定轴,固定轴安装在炉体的上端面,左滑盖和右滑盖上相对于固定装置的另一端上均设置横杆。本实用新型的铝溅射靶材用熔铝电阻炉装置,无需工人将炉盖抬起,只需滑动即可,且将炉盖的构造设置为剪刀状,即一分为二方便开启和闭合,在不增加工艺复杂程度的情况下解决了上述问题。 | ||
搜索关键词: | 溅射 靶材用熔铝 电阻炉 装置 | ||
【主权项】:
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