[实用新型]一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘有效

专利信息
申请号: 201922270335.6 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN210778534U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 田光明;王波;王小波 申请(专利权)人: 无锡科瑞泰半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘,包括主支杆,所述主支杆的顶部固定安装有把手,且把手的四周均匀且等间隙分布设置橡胶垫,所述主支杆的底端四侧壁分别设置第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及第四连接杆,所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及第四连接杆的另一端均固定设置竖杆,所述竖杆的底端螺纹安装有连接套筒,所述连接套筒的底端连接设置橡胶垫块,所述橡胶垫块的底部设有与其一体成型结构的吸盘体,所述吸盘体的下表面开设有若干个吸附槽,所述吸附槽的另一端设有贯穿吸盘体的吸附孔,且吸附孔与吸附槽相连通设置。该实用新型可以对多个晶片进行吸附,便于加工,大大地提高晶片的加工效率,操作简单。
搜索关键词: 一种 用于 晶片 吸附 真空 陶瓷 吸盘
【主权项】:
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