[实用新型]一种高温清洗防漂片夹具有效
| 申请号： | 201922254781.8 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211247691U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 崔文荣 | 申请（专利权）人： | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高温清洗防漂片夹具，包括夹具本体，夹具本体包括提手，提手由左纵杆、右纵杆和上横杆组成，且左纵杆、右纵杆和上横杆一体成型形成U形结构，左纵杆下端部设置第一内卡块，右纵杆下端部设置第二内卡块，且第一内卡块、第二内卡块与片架两侧的卡槽相匹配，左纵杆和右纵杆外壁上均开有卡接槽，两个卡接槽之间卡接挡杆，本实用新型结构设计新颖，制作方便，有效的阻止晶圆在清洗过程中从承载工装——花篮内向上浮出，百分之百避免因工艺条件导致的硅片上浮产生不良的现象，提高产品良率，做到0漂浮不良产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 清洗 防漂片 夹具 | ||
【主权项】：
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