[实用新型]一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置

摘要

本实用新型公开一种能够降低水汽及稳定蒸发压力的立式蒸发镀膜装置，所述装置沿基板传送方向依次连通设有进料腔室、第一缓冲腔室、加热腔室、第一狭缝腔室、第一蒸发腔室、第二蒸发腔室、第二狭缝腔室、第二缓冲腔室与出料腔室；所有腔室内的底部均设有用于传输基板架的传送辊；狭缝腔室的宽度小于其它腔室，狭缝腔室壳体中央为基板架通道，基板架通道外周环绕设有水汽捕集器，水汽捕集器两侧由内至外依次间隔设有内均热板、中均热板与外均热板；该装置能够吸附基板表面的水汽，并且保证蒸发腔内蒸发过程中工艺气体压力的稳定性，保证薄膜的生长质量。