[实用新型]超高频研磨机行星传动机构有效
申请号: | 201922208754.7 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN211615283U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 刘兴波 | 申请(专利权)人: | 珠海东锦石英科技有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;B24B47/12 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 王贤义 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种超高频研磨机行星传动机构,旨在提供种能研磨的更薄的超高频研磨机行星传动机构。本实用新型包括机台及若干个油轮片,机台上设置有研磨台及动力装置,研磨台上配合设置有研磨工位,研磨台的外部套接有与研磨工位配合的齿圈,研磨台上端面的中部开有齿轮放置槽,齿轮放置槽上设置有与研磨工位配合的太阳齿轮,若干个油轮片配合设置在研磨工位上,太阳齿轮及齿圈均与油轮片啮合,研磨台上还设置有研磨盘,研磨盘套接在太阳齿轮上,研磨台、齿圈及太阳齿轮均与动力装置传动配合,太阳齿轮的直径范围为28mm至35mm,油轮片的数量为七个。本实用新型应用于石英晶片研磨的技术领域。 | ||
搜索关键词: | 超高频 研磨机 行星 传动 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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