[实用新型]一种可自动换水的晶圆存放盒有效
申请号: | 201922187821.1 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN211108689U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 胡建军 | 申请(专利权)人: | 苏州英尔捷半导体有限公司 |
主分类号: | B65D25/02 | 分类号: | B65D25/02;B65D25/52;B65D81/22;B65D85/86;B65D25/20;B65D81/05 |
代理公司: | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人: | 徐永雷 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可自动换水的晶圆存放盒,包括主体和内管,所述主体的中部设置有箱体,且箱体的顶端开设有桶口,所述桶口的底部固定有底盘,所述箱体的中部设置有内笼,所述内笼的底端设置有海绵垫,所述箱体的左右两端设置有手把,所述箱体的右侧设置有水泵,所述箱体的中部设置有固定管,所述内管设置于固定管的内壁。该可自动换水的晶圆存放盒设置有内笼,便于使用者将完成好的晶圆进行取出,内笼的底部设置有海绵垫,有效的起到防护的作用,使用者将存放盒注满水,防止晶圆自然干燥后表面留下水痕或者其它污渍,难以清理,为后面清洗烘干等工序做准备,内笼通过滚轮在箱体的后端的滑槽进行滑动,有效的将晶圆向上推动。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动 存放 | ||
【主权项】:
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