[实用新型]一种可自动换水的晶圆存放盒有效
| 申请号： | 201922187821.1 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN211108689U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 胡建军 | 申请（专利权）人： | 苏州英尔捷半导体有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/52;B65D81/22;B65D85/86;B65D25/20;B65D81/05 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 徐永雷 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 存放 | ||
1.一种可自动换水的晶圆存放盒，包括主体(1)和内管(10)，其特征在于：所述主体(1)的中部设置有箱体(2)，且箱体(2)的顶端开设有桶口(3)，所述桶口(3)的底部固定有底盘(4)，所述箱体(2)的中部设置有内笼(5)，所述内笼(5)的底端设置有海绵垫(6)，所述箱体(2)的左右两端设置有手把(7)，所述箱体(2)的右侧设置有水泵(8)，所述箱体(2)的中部设置有固定管(9)，所述内管(10)设置于固定管(9)的内壁。
2.根据权利要求1所述的一种可自动换水的晶圆存放盒，其特征在于：所述内笼(5)包括滚轮(501)和滑槽(502)，且内笼(5)的后端设置有滚轮(501)，所述内笼(5)的顶端设置有滑槽(502)。
3.根据权利要求2所述的一种可自动换水的晶圆存放盒，其特征在于：所述内笼(5)通过滚轮(501)与滑槽(502)构成滑动结构，且滚轮(501)与滑槽(502)之间为紧密贴合。
4.根据权利要求1所述的一种可自动换水的晶圆存放盒，其特征在于：所述水泵(8)包括连接管(801)和水箱(802)，且水泵(8)的左右两端连接有连接管(801)，所述连接管(801)的右端设置有水箱(802)。
5.根据权利要求4所述的一种可自动换水的晶圆存放盒，其特征在于：所述水泵(8)与连接管(801)之间为紧密贴合，且水箱(802)与连接管(801之间为活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种可自动换水的晶圆存放盒，其特征在于：所述固定管(9)与内管(10)之间为固定连接，且内管(10)关于固定管(9)的中心对称分布。
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