[实用新型]一种真空系统用挡板阀有效
| 申请号： | 201922155469.3 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211227332U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 郭爱云;朱选敏 | 申请（专利权）人： | 武汉科瑞达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空系统用的挡板阀，包括高真空获得装置、用于与腔体密封连接和安装高真空获得装置的固定板、用于隔离高真空获得装置和真空室的密封板、与密封板联动的驱动机构；所述固定板上设置有驱动机构安装法兰和高真空获得装置抽气口。本实用新型的实用性、使用性能以及抽真空效果好，适用范围广；实现快速连通或隔离高真空获得装置与真空室，便于连续生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 挡板 | ||
【主权项】：
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