[实用新型]蒸发镀膜装置

摘要

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸发镀膜装置。一种蒸发镀膜装置，包括镀膜室、抽真空组件以及辅助抽真空件；辅助抽真空件通过第一管道与镀膜室连通，辅助抽真空件用于抽取镀膜室内的包括蒸汽的部分气体，抽真空组件通过第二管道与镀膜室连通，抽真空组件用于抽取镀膜室内水蒸汽。镀膜室内主要存在两部分的气体，其中一部分气体为水蒸汽，另一部分为氧气等气体，首先利用辅助抽真空件对镀膜室内的水蒸汽迅速捕集，然后再利用抽真空组件对镀膜室内的氧气等气体进行捕集；对镀膜室内的气体分别利用不同组件分别进行捕集，大大缩短了对镀膜室抽真空的时间，不仅降低了各个组件的耗电量，又提供了工作效率。