[实用新型]一种基于光电反馈的谐振式扫描镜有效
| 申请号： | 201922073796.4 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210776030U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 夏长锋;何耀军;宋秀敏;郑文会;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;H03L7/16 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微光机电领域，具体涉及一种基于光电反馈的谐振式扫描镜。解决了现有技术中谐振式扫描镜反馈集成难，反馈成本高，精度差等问题。包括扫描镜、扫描镜驱动模块、控制器、光发射模块以及光接收模块；扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，扫描镜驱动模块的输入端与控制器的输出端电连接；光发射模块用于发射准直光源至扫描镜背面；光接收模块用于接收经扫描镜背面反射的光束，并转换为同步扫描电脉冲信号；光接收模块的输出端与控制器的输入端电连接。本实用新型基于较电容式角度反馈装置的谐振式扫描镜具有高信噪比，电路简易的优点。较基于光学PSD式的角度反馈装置的谐振式扫描镜具有低成本，易集成的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光电 反馈 谐振 扫描 | ||
【主权项】：
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