[实用新型]一种集成电路板的蚀刻槽装置有效

专利信息
申请号: 201922040211.9 申请日: 2019-11-23
公开(公告)号: CN211256097U 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 黄粤龙 申请(专利权)人: 蓝科微电子(深圳)有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;H05K3/06
代理公司: 深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙) 44434 代理人: 杜立光
地址: 518000 广东省深圳市南山区粤*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及蚀刻槽装置技术领域,尤其是一种集成电路板的蚀刻槽装置,包括槽体,所述槽体的上方设有驱动升降架上下移动的升降机构,所述升降架上固定有轴承,所述轴承内转动安装有竖直设置的转轴,所述升降架上设有驱动转轴绕其中轴线旋转的驱动机构,所述转轴的下端通过连接架连接有矩形框状的夹持架,所述夹持架的两侧通过活动连接机构连接有矩形框架状的托架,所述托架位于夹持架的下方且与夹持架之间夹持有多个电路板。本实用新型能够加快蚀刻速度,并且方便对电路板进行取放。
搜索关键词: 一种 集成 电路板 蚀刻 装置
【主权项】:
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