[实用新型]一种集成电路板的蚀刻槽装置有效
申请号: | 201922040211.9 | 申请日: | 2019-11-23 |
公开(公告)号: | CN211256097U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 黄粤龙 | 申请(专利权)人: | 蓝科微电子(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;H05K3/06 |
代理公司: | 深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙) 44434 | 代理人: | 杜立光 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 电路板 蚀刻 装置 | ||
本实用新型涉及蚀刻槽装置技术领域,尤其是一种集成电路板的蚀刻槽装置,包括槽体,所述槽体的上方设有驱动升降架上下移动的升降机构,所述升降架上固定有轴承,所述轴承内转动安装有竖直设置的转轴,所述升降架上设有驱动转轴绕其中轴线旋转的驱动机构,所述转轴的下端通过连接架连接有矩形框状的夹持架,所述夹持架的两侧通过活动连接机构连接有矩形框架状的托架,所述托架位于夹持架的下方且与夹持架之间夹持有多个电路板。本实用新型能够加快蚀刻速度,并且方便对电路板进行取放。
技术领域
本实用新型涉及蚀刻槽装置领域,尤其涉及一种集成电路板的蚀刻槽装置。
背景技术
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。在电路板的生产过程中需要用到蚀刻,现有技术中的蚀刻是将集成电路板浸入蚀刻槽中,蚀刻槽中存储有蚀刻液,通过蚀刻液进行蚀刻,这种蚀刻槽蚀刻速度较慢,且不方便电路板的放入和取出。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在蚀刻速度慢的缺点,而提出的一种集成电路板的蚀刻槽装置。
为达到以上目的,本实用新型采用的技术方案为:一种集成电路板的蚀刻槽装置,包括槽体,所述槽体的上方设有驱动升降架上下移动的升降机构,所述升降架上固定有轴承,所述轴承内转动安装有竖直设置的转轴,所述升降架上设有驱动转轴绕其中轴线旋转的驱动机构,所述转轴的下端通过连接架连接有矩形框状的夹持架,所述夹持架的两侧通过活动连接机构连接有矩形框架状的托架,所述托架位于夹持架的下方且与夹持架之间夹持有多个电路板。
优选的,所述升降机构包括竖直设在槽体上方的液压缸,所述液压缸通过连杆与槽体的顶部固定连接,所述液压缸的下端与升降架固定连接。
优选的,所述驱动机构包括电机,所述电机固定在升降架上,所述转轴的上端同轴连接有传动轮,所述电机的输出轴同轴连接有驱动轮,所述驱动轮通过传动带与传动轮连接。
优选的,所述活动连接机构包括固定在托架侧壁上的连接板和安装板,所述夹持架的侧壁上固定有水平设置的固定板和连接筒,所述连接板上开设有相互连通的条形孔和圆孔,所述固定板底部垂直连接有限位杆,所述限位杆穿过条形孔且端部连接有圆形的限位端,所述条形孔的宽度小于限位端的直径,所述圆孔的直径大于限位端的直径,所述安装板表面垂直连接有插杆,所述插杆上滑动安装有滑环,所述滑环与安装板之间的插杆上套装有弹簧,所述插杆的端部插装在连接筒内,所述滑环抵住连接筒的端面。
优选的,所述托架的上表面设有多个安装槽,所述电路板分别卡装在其中一个安装槽内。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:本实用新型设置了驱动机构带动托架旋转,托架与夹持架配合对电路板进行安置,并且随着旋转,能够及时移除被蚀刻的金属,从而提高蚀刻速度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型去掉槽体后的结构示意图;
图3为图2中A处的结构示意图;
图4为图2中B处的结构示意图;
图5为本实用新型去掉槽体后另一视角的结构示意图;
图6为本实用新型的托架的结构示意图。
图中:槽体1、液压缸2、轴承3、电机4、传动带5、连接架6、托架7、夹持架8、电路板9、转轴10、传动轮11、升降架12、安装槽13、插杆14、连接板15、连接筒16、滑环17、弹簧18、限位端19、安装板20、圆孔21、条形孔22、限位杆23、固定板24。
具体实施方式
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