[实用新型]工业OCT检测装置有效
申请号: | 201921956764.2 | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN211426243U | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 蔡守东;吴蕾;郭曙光;代祥松;李鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市斯尔顿科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/17 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 黄议本 |
地址: | 518114 广东省深圳市布吉街道布*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请公开一种工业OCT检测装置。所述装置包括样品臂;所述样品臂包括探头组件;所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程光传播单元;所述等光程光传播单元用于使光照射至待测样品;所述等光程光传播单元包括沿光的入射方向依次设置的第一反射镜和末端反射镜;各个所述第一反射镜位于同一个第一虚拟曲面上且所述第一虚拟曲面具有第一定点;所述第一反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。本申请可实现快速检测以及可提高准确率,便于控制。 | ||
搜索关键词: | 工业 oct 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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