[实用新型]一种具有水道防护装置的平面靶背板有效
申请号: | 201921943939.6 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN210886211U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 郭文明 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有水道防护装置的平面靶背板,平面靶背板中部掏空设置有冷却水道,冷却水道设置有水道口,平面靶背板包括水道防护装置,水道防护装置设置有水道连接部和防护盖,水道连接部设置有设定高度的装盖平台,装盖平台设置有装盖安装部,装盖平台的中部向下凹陷形成有水道连接腔,水道连接腔与水道口连接,防护盖设置有盖子连接部,防护盖的形状与装盖平台相适应,盖子连接部与装盖安装部的位置相对应,盖子连接部与装盖安装部连接。本实用新型的平面靶背板,防止在生产过程中有外界液体进入冷却水道,减少清理水道工序,水道防水能力强,密封性能好,提高平面靶的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 水道 防护 装置 平面 背板 | ||
【主权项】:
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