[实用新型]芯片除尘设备有效
| 申请号： | 201921931899.3 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN210995626U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 冀志猛;曹玉坤 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;G01L11/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种芯片除尘设备，包括：承载组件，包括承载板和半导体芯片，所述承载板设有间隔设置的承载槽和安装槽，所述半导体芯片设于所述承载槽内；清洁结构，与所述承载板相对设置，所述清洁结构包括具有吹气口的吹气管，所述吹气口朝向所述承载槽；压力检测组件，设于所述安装槽内。本实用新型旨在提供一种能够实时监测和监控吹气压力的芯片除尘设备，提高芯片除尘设备的使用便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 除尘 设备 | ||
【主权项】：
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