[实用新型]一种硅片加工用均胶机

摘要

本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种硅片加工用均胶机，包括机体，所述机体的侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的端部连接有齿轮组，所述齿轮组的数量为两个，另一个所述齿轮组的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部转动连接有转动筒，所述转动筒的内壁固定安装有定位座。通过把手、主动轮与齿条之间的配合，使得限位夹可以移动不同的位置，当限位夹移动到最顶端时，更好将硅片夹持在吸盘的轴心处，使得吸盘在固定与旋转时，始终沿吸盘的轴心做圆周运动，一方面使得硅片保持均匀旋转，另一方面增加硅片在旋转时的稳定性，解决了手动放置偏移，吸气管吸力下降，无法稳定吸附硅片的问题。