[实用新型]一种具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜有效
申请号: | 201921909124.6 | 申请日: | 2019-11-07 |
公开(公告)号: | CN211170549U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 伍得;廖述杭;吕志聪;苏峻兴 | 申请(专利权)人: | 武汉市三选科技有限公司 |
主分类号: | C09J7/10 | 分类号: | C09J7/10;H01L21/683 |
代理公司: | 武汉华强专利代理事务所(普通合伙) 42237 | 代理人: | 温珊姗 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具防粘黏涂层的晶圆级封装芯片接合膜,该晶圆级封装芯片接合膜为多层结构,依次包括离型层、封装胶层、防静电结合胶层、切割胶层、树脂胶层,封装胶层形成于离型层之可剥离面上。本实用新型晶圆级封装芯片接合膜集成了封装和切割胶带功能,将其用于半导体晶圆的封装和切割工序,极大简化了工艺,可显著提高作业效率,抗沾黏层还可避免收卷时切割胶层间的粘黏现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 具防粘黏 涂层 晶圆级 封装 芯片 接合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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