[实用新型]一种用于减薄机的真空吸盘有效
| 申请号： | 201921903664.3 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN210938452U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 曹丽萍;张万财;王加初;石春生 | 申请（专利权）人： | 平凉市老兵科技研发有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;F16B47/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 蒋秀清 |
| 地址： | 744000 甘肃省平凉市*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于减薄机的真空吸盘，涉及半导体加工制造领域。该真空吸盘包括吸盘和底座，吸盘安装在底座上；所述吸盘上部开设有腔体，且腔体内壁设有环形槽，腔体内安置有内多孔陶瓷板、外陶瓷环，所述内多孔陶瓷板和外陶瓷环粘接，外陶瓷环和环形槽粘接。本实用新型的结构简单，安装方便；能有效保证减薄机在进行磨削晶圆时的真空吸附，并且能够防止多孔陶瓷在真空负压下产生过大的形变，保证吸盘主体的平整度，以及真空的均匀度；吸盘可更换多孔陶瓷且不同尺寸的吸盘配合同一底座，降低了使用和加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 减薄机 真空 吸盘 | ||
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