[实用新型]一种退火装置有效

专利信息
申请号: 201921877544.0 申请日: 2019-11-01
公开(公告)号: CN210657018U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 杨波;吴长征;谢毅 申请(专利权)人: 中国科学技术大学先进技术研究院
主分类号: C21D1/26 分类号: C21D1/26;C21D1/68;C21D9/00;C21D1/74
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 郭春芳
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提出一种退火装置,所述退火装置包括:加热组件,所述加热组件内具有炉腔;回收组件,所述回收组件连接所述加热组件,所述回收组件具有一回收腔,所述回收腔连通所述炉腔;其中,所述回收组件还包括一冷凝件,所述冷凝件上的冷凝部位于或部分位于所述回收腔中。本实用新型提供的退火装置中,模板剂可通过炉腔与回收腔形成的通道进入到回收腔中,冷凝件的表面温度低于模板剂的凝固点,使得回收腔中的整体温度较低,模板剂在回收腔中遇冷冷凝/结晶在回收腔中聚集,从而实现模板剂的回收。
搜索关键词: 一种 退火 装置
【主权项】:
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