[实用新型]一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置有效
| 申请号： | 201921875473.0 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210974862U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 吴伟;周立庆;宁提;张坚 | 申请（专利权）人： | 成都南光机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 黄蓉蓉 |
| 地址： | 610100 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，涉及镀膜机技术领域，本实用新型包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道，本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘快速降温、以满足特殊镀膜工艺需求的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 机用可 快速 冷却 工件 装置 | ||
【主权项】：
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