[实用新型]一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，涉及镀膜机技术领域，本实用新型包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道，本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘快速降温、以满足特殊镀膜工艺需求的优点。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，更具体的是涉及一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前镀膜机通过工件盘夹取固定工件时，大都通过冷却箱体或者加热箱体来实现对镀膜过程的温度控制，但是由于热量在高真空环境下传输较慢，所以效果不是很明显，且反应滞后，无法快速有效地对工件盘进行降温，以满足特殊镀膜工艺的需求。

故如何解决上述技术问题，对于本领域技术人员来说很有现实意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有镀膜机中工件盘的温度无法快速降温的技术问题，本实用新型提供一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道。

进一步地，冷却液通道顶部连接有进液管，循环冷却通道末端连接有出液管。

进一步地，出液管上设置有温度检测探头。

进一步地，循环冷却通道呈旋涡状。

进一步地，工件盘底部两侧设置有对称的L型板，L型板下端的水平板上设置有弹簧压紧机构，工件盘底部通过弹簧压紧机构固定若干工件，工件位于两L型板之间。

进一步地，弹簧压紧机构包括设置在L型板下端水平板上的弹簧座，弹簧座上开设有凹槽，凹槽内设置有压缩弹簧，压缩弹簧顶部设置有缓冲垫块，缓冲垫块贴合在工件底部。

本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型直接在工件盘内开设循环冷却通道，再通过冷却液通道注入冷却液，使冷却液流经循环冷却通道时能直接对工件盘进行冷却，冷却效果好，起到快速降温作用，从而满足特殊镀膜工艺的需求。

2、工件盘底部通过两个L型板和弹簧压紧机构可固定多个工件，当镀膜加工完成后，取下最底层工件后，在压缩弹簧作用下使缓冲垫块自动抵紧上一块工件，然后继续对该工件进行镀膜处理，改变传统一次加工一件后再更换新的工件的加工方式，减少了更换次数，提高了加工效率。

附图说明

图1是本实用新型一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置的结构示意图；

图2是图1中A-A处的剖视结构示意图。

附图标记：1-回转轴，2-工件盘，3-冷却液通道，4-循环冷却通道，5-进液管，6-出液管，7-温度检测探头，8-L型板，9-弹簧压紧机构，9.1-弹簧座，9.2-压缩弹簧，9.3-缓冲垫块。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。