[实用新型]一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机有效
| 申请号： | 201921854368.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210773990U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 黄奇勋;林孝狮;黄田玉;李元业;林剑煌;林光展 | 申请（专利权）人： | 福州天瑞线锯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22;G01B21/20;G01C1/00;B28D5/04;B28D7/04 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;施文武 |
| 地址： | 350100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅棒切割面角度检测装置及开方机，所述开方机包括所述单晶硅棒切割面角度检测装置，所述单晶硅棒切割面角度检测装置包括测量件、竖向驱动机构、纵向驱动机构；竖向驱动机构包括伺服电机、竖向螺杆、连接座及滑轨；滑轨竖向设置于夹持机构的夹持座处；连接座设置有滑块，滑块可竖向滑动地安装于滑轨内；伺服电机设置于夹持机构的夹持座处，且伺服电机的输出轴竖向设置；竖向螺杆与伺服电机的输出轴同轴连接，连接座开设有竖向的螺纹孔，竖向螺杆螺纹传动地穿过连接座的螺纹孔；纵向驱动机构用于驱动测量件移动；测量件与纵向驱动机构连接。本实用新型具有可以检测出单晶硅棒的切割面是否水平的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 切割 角度 检测 装置 开方 | ||
【主权项】：
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