[实用新型]一种蒸镀用离子枪有效
| 申请号： | 201921818075.5 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN211112192U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘轶群;蒋艺丰 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙) 11426 | 代理人： | 范国锋;刘冬梅 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种改进的Leica EM MED020型蒸镀用离子枪，包括电极及核心支撑座1、枪室2、靶材棒底座3和前汇聚室4。所述电极及核心支撑座1上安装靶材棒底座3和枪室2，该靶材棒底座3上端用于蒸镀的靶材位于枪室2的空腔内，枪室2与前汇聚室4相连，位于电极及核心支撑座1和前汇聚室4之间；其中，枪室盖22和枪室室21通过螺纹连接组合成枪室2。本实用新型的蒸镀用离子枪易于拆卸清理，同时便于安装调整，降低了实验难度，提高了实验精度和效果，同时延长了设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀用 离子 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921818075.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：编织材料防打圈装置
- 下一篇：一种工业纺纱用加工定位装置
- 同类专利
- 专利分类
