[实用新型]挡辐射板及扩散炉有效
| 申请号： | 201921801102.8 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN210602789U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 曹文;朱廷刚;胡小龙 | 申请（专利权）人： | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 王桦 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种挡辐射板，包括挡辐射板本体，所述的挡辐射板本体上开设有贯穿其两面的主排气口，所述的挡辐射板本体包括填充层、包覆在所述的填充层外部的包覆层，所述的填充层的材质为石英棉。一种扩散炉，包括石英管、连接在所述的石英管至少一端的密封组件，所述的扩散炉还包括设置在所述的石英管内靠近所述的密封组件的挡辐射板。本实用新型通过包覆石英棉的挡辐射板能够有效阻挡烤时的辐射热，延长了密封组件的使用寿命；同时挡辐射板不会与烘烤气体发生反应，保证了烘烤器件的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 扩散 | ||
【主权项】：
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