[实用新型]一种用于散射实验站的真空腔体组件有效
| 申请号： | 201921694098.X | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN211043200U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 洪春霞;王玉柱;滑文强;周平;李秀宏;边风刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/201;G01N23/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 余永莉 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于散射实验站的真空腔体组件，包括：真空腔体本体；连接于真空腔体本体前端的波纹管；设置于真空腔体本体后端的透光窗口，透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜；设置于底部的两套二维运动平台；分别通过一连接装置与二维运动平台连接的第一、第二束流阻挡器；以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管；其中，第一、第二束流阻挡器可同时运动或分别运动，同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。该真空腔体组件可实现样品的大q值测量，并且结构简单、易于维护，束流阻挡器可灵活拆卸，满足不同用户不同实验要求；同时为实验站GISAXS实验自动化对样提供硬件条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 散射 实验站 空腔 组件 | ||
【主权项】：
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