[实用新型]一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板有效
申请号: | 201921618594.7 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN210974927U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 宋生宏;罗乾;陈立民;高俊伟;陈健 | 申请(专利权)人: | 阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人: | 丁国勇 |
地址: | 810007 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉技术领域,且公开了一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板,包括底板,所述底板的顶部固定安装有围板,所述底板的顶部固定安装有贯穿底板的托杆座,所述托杆座的顶部与底部均嵌设有花键轴承,所述托杆座的内部填充有位于花键轴承相对一侧的第一填料,所述围板的与底板的顶部均开设有固定孔,所述底板的顶部固定安装有数量为两个且分别位于托杆座左右两侧并贯穿底板的电极座。该直拉单晶炉热场系统用的下反射板,可在安装时对电极高度进行微调,提高精度、生产加工环境等因素的影响下存在误差的电极适配性,使其完好的与坩埚进行组合,提高热传导率,与加热效率,避免热量大量散失。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶炉热场 系统 反射 | ||
【主权项】:
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