[实用新型]真空泵减压装置和减压真空泵有效

专利信息
申请号: 201921601846.5 申请日: 2019-09-24
公开(公告)号: CN210977860U 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: F04C18/00 分类号: F04C18/00;F04C23/00;F04C29/12
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 虞凌霄
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型涉及一种真空泵减压装置和减压真空泵,该真空泵减压装置设有进气通道端、排气通道端和减压腔,通过在减压腔设置气体加速模块,使气体加速区内的气体流速大于气体流入区内的气体流速,根据伯努利原理(气体流速越大,压强越小),通过速度变化,使原本压强相近的进气通道端和排气通道端产生正压强差,两端产生的压强差带动进气通道端的气体流速变大。从而缓解了进气通道端的排气阻力,使真空泵的转子转动速率下降,从而预防了真空泵的过度磨损,延长了真空泵的使用寿命。
搜索关键词: 真空泵 减压 装置
【主权项】:
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