[实用新型]一种设有匹配器的射频功率源装置

摘要

本申请实施例提供一种设有匹配器的射频功率源装置，涉及射频技术领域。该设有匹配器的射频功率源装置包括射频源和匹配器，所述匹配器用于将所述射频源发送的射频信号加载至负载终端；所述匹配器包括输入端、输出端、第一可变电容、电感、第一步进电机、第二可变电容和第二步进电机。该设有匹配器的射频功率源装置通过将负载阻抗匹配至设有匹配器的射频功率源装置的标准阻抗，从而实现提高射频信号的能量传输效率，降低射频功率源被烧毁的可能性。