[实用新型]一种设有匹配器的射频功率源装置

权利要求书

1.一种设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，包括射频源和匹配器，所述匹配器用于将所述射频源发送的射频信号加载至负载终端；

所述匹配器包括输入端、输出端、第一可变电容、电感、第一步进电机、第二可变电容和第二步进电机，所述输入端连接所述射频源，所述输出端连接所述负载终端；所述输入端、所述第一可变电容、所述电感和所述输出端串联，所述输入端经第二可变电容后接地；所述第一步进电机通过驱动结构与所述第一可变电容连接，用于调节所述第一可变电容的电容值，所述第二步进电机通过驱动结构与第二可变电容连接，用于调节所述第二可变电容的电容值，以将所述负载终端的阻抗匹配至标准阻抗。

2.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述射频源包括频率发生器、增益调节器、多级放大器、滤波器和输出端，所述频率发生器、所述增益调节器、所述多级放大器、所述滤波器和所述输出端串联，所述输出端用于发送射频信号至所述匹配器的输入端。

3.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述第一可变电容为可变真空电容，所述第二可变电容为可变空气电容。

4.根据权利要求3所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述装置还包括驱动器和功率取样器，所述功率取样器分别连接所述射频源的输出端与所述匹配器的输入端，用于获取所述射频源发送的射频信号的反射系数；

所述驱动器与所述功率取样器连接，用于驱动所述第一步进电机和所述第二步进电机，以根据所述反射系数将所述负载终端的阻抗匹配至标准阻抗。

5.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述装置还包括显示屏，所述显示屏用于显示所述第一可变电容的电容值、所述第二可变电容的电容值和所述负载终端的阻抗信息。

6.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述装置还包括第一调节键位和第二调节键位，所述第一调节键位连接第一步进电机，所述第二调节键位连接第二步进电机。

7.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述装置还包括过载报警器，所述过载报警器与所述匹配器的输入端连接，用于监测所述射频信号的状态信息，所述状态信息包括所述射频信号的电流、电压、反射系数，当所述射频信号的电流、电压、反射系数中的其中一项超过预设值时，进行报警。

8.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述装置还包括散热系统，所述散热系统用于给所述射频源和所述匹配器散热。

9.根据权利要求8所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述散热系统为风冷散热或液冷散热。

10.根据权利要求1所述的设有匹配器的射频功率源装置，其特征在于，所述装置还包括电源，所述电源用于给所述射频源和所述匹配器供电。