[实用新型]一种石英晶片生产用清洗装置有效
| 申请号： | 201921510631.2 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN210497421U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 夏良军 | 申请（专利权）人： | 菲特晶（南京）电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/06 | 分类号： | B08B3/06;F26B21/00 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 黄胡生 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种石英晶片生产用清洗装置，涉及石英晶片生产设备技术领域，包括箱体以及第一气缸和第二气缸；箱体通过第一隔板将其内部分隔为干燥腔和清洗腔，干燥腔的内侧壁设有若干喷管，总管的一端闭合，另一端连接热风机的出气口，清洗腔内注有清洗液；第一气缸和第二气缸的顶部与顶棚固定连接，底部均贯穿设有活塞杆，活塞杆的底部侧壁设有第一凹槽，固定杆顶部的卡块与第一凹槽卡合连接，固定杆的底部侧壁设有横板，清洗笼包括顶板和底板，顶板的第一侧壁和第三侧壁均设有凸台，顶板的两端分别通过第一侧板和第二侧板连接底板的两端，顶板和底板之间设有若干第二隔板。本实用新型工作效率高，清洗效果好，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶片 生产 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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