[实用新型]一种石英晶片生产用清洗装置

说明书

本实用新型提供一种石英晶片生产用清洗装置，涉及石英晶片生产设备技术领域，包括箱体以及第一气缸和第二气缸；箱体通过第一隔板将其内部分隔为干燥腔和清洗腔，干燥腔的内侧壁设有若干喷管，总管的一端闭合，另一端连接热风机的出气口，清洗腔内注有清洗液；第一气缸和第二气缸的顶部与顶棚固定连接，底部均贯穿设有活塞杆，活塞杆的底部侧壁设有第一凹槽，固定杆顶部的卡块与第一凹槽卡合连接，固定杆的底部侧壁设有横板，清洗笼包括顶板和底板，顶板的第一侧壁和第三侧壁均设有凸台，顶板的两端分别通过第一侧板和第二侧板连接底板的两端，顶板和底板之间设有若干第二隔板。本实用新型工作效率高，清洗效果好，操作简单。

技术领域

本实用新型属于石英晶片生产设备技术领域，具体涉及一种石英晶片生产用清洗装置。

背景技术

在石英晶片加工过程中，腐蚀工序后通常需要清洗和烘干。在清洗过程中，石英晶片容易滞留在清洗液中且叠放影响清洗和干燥的效果。

因此急需提供一种工作效率高，清洗效果好，操作简单的石英晶片生产用清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有石英晶片生产用清洗装置的不足，提供一种石英晶片生产用清洗装置。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种石英晶片生产用清洗装置，包括箱体以及设于所述箱体上方的第一气缸和第二气缸；

所述箱体通过第一隔板将其内部分隔为干燥腔和清洗腔，所述箱体的顶部在竖直方向设有两个第一通孔，所述第一隔板在竖直方向设有两个第二通孔，所述干燥腔的内侧壁设有若干喷管，所述喷管的顶部贯穿设于所述箱体的顶部连接设于所述箱体外部的总管，所述总管的一端闭合，另一端连接热风机的出气口，所述热风机设于所述箱体的顶部侧壁，所述清洗腔内注有清洗液；

所述第一气缸和第二气缸的顶部与顶棚固定连接，底部均贯穿设有活塞杆，所述活塞杆的底部侧壁设有向所述活塞杆内部凹陷的第一凹槽，固定杆顶部的卡块与所述第一凹槽卡合连接，所述固定杆的底部侧壁设有横板，所述固定杆与清洗笼卡合连接，所述清洗笼包括顶板和底板，所述顶板的第一侧壁和第三侧壁均设有凸台，两个所述凸台在竖直方向均设有第三通孔，所述顶板的两端分别通过第一侧板和第二侧板连接所述底板的两端，所述底板的下表面设有向所述底板内部凹陷的第二凹槽，所述第二凹槽的底部与所述横板的上表面卡合连接，所述顶板和所述底板之间设有若干第二隔板。

优选的，所述第一隔板的外侧壁与所述箱体的内侧壁连接，所述干燥腔的容积与所述清洗腔的容积相同。

优选的，所述第一通孔和所述第二通孔的横截面与所述清洗笼的横截面相同，所述第一通孔、所述第二通孔与对应的所述活塞杆在竖直方向的中轴线均在同一条直线上。

优选的，所述第二隔板的两端外侧壁分别连接所述第一侧板和所述第二侧板的内侧壁，相邻所述第二隔板之间的距离相等，所述第一侧板和所述第二侧板在水平方向设有若干第四通孔，所述第二隔板在竖直方向设有若干所述第四通孔。

优选的，所述箱体的外侧壁设有电源，所述第一气缸、所述第二气缸和所述热风机均与所述电源电性连接。