[实用新型]一种镀膜真空腔重型门盖提平装置

摘要

本实用新型提供了一种镀膜真空腔重型门盖提平装置，包括真空腔体、门盖和提平装置，所述提平装置包括轴承支撑座、销轴、轴用卡簧、滚动轴承、安装座，所述轴承支撑座固定安装在所述门盖下侧面上，所述销轴穿过轴承支撑座上设置的两个支撑座凸耳，所述销轴末端通过轴用卡簧固定，所述滚动轴承套设在所述销轴上且位于两个所述支撑座凸耳之间，所述安装座安装在所述真空腔体上，所述安装座位于所述滚动轴承正下方用于支撑所述滚动轴承。本实用新型通过提平装置保证了门盖在盖合时能够准确和真空腔体贴合，提高了门盖安装的效率，减少真空泄漏率，缩短抽真空时间，改善了门盖倾斜导致门盖变形的问题，延长了门盖的使用寿命。