[实用新型]一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置有效
| 申请号： | 201921430657.6 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN210435558U | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 李峰平;冯光;李小刚;马光;薛遥;钟蓉;朱德华;庞继红;林礼区;卢成绩 | 申请（专利权）人： | 温州大学;领伟创新智能系统（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/02 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 余冬 |
| 地址： | 325035 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，包括飞秒激光器和精密运动平台，所述精密运动平台的主轴上设有支撑机构，支撑机构的顶部设有夹具；所述飞秒激光器的输出端设有扩束器，所述扩束器的输出端设有反射镜，反射镜的输出端设有光束扫描模块，所述光束扫描模块的输出端设有半聚焦镜，半聚焦镜的输出端设有45度设置的半透反射镜，半透反射镜的反射输出端设有高精度三维在线监测模块，半透反射镜的透射输出端正对精密运动平台上的夹具。本实用新型通过高精度三维在线监测模块来对加工过程中的光束偏移量进行实时检测，并进行相应的调整，有效的提高加工质量与精度；此外本实用新型还具有加工精度高、稳定性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 锥度 可控 打孔 装置 | ||
【主权项】：
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