[实用新型]激光退火设备有效
| 申请号： | 201921371760.8 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN210587645U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘效岩;张程鹏;王建 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082;B23K26/70;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光退火设备，属于激光退火领域。该系统包括机台、激光系统、运动系统和工艺腔室。运动系统包括y轴方向运动的横梁、x轴方向运动的第一安装板和z轴方向运动的第二安装板；横梁、第一安装板和第二安装板上分别设置有第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜。工艺腔室顶部通过密封玻璃密封。激光系统输出的激光经过第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜反射为x轴方向，然后通过整形模块后依次进入振镜和场镜，透过密封玻璃照射在工艺腔室内的SiC晶圆上。本实用新型晶圆固定不动，激光系统光路在运动系统上运动，工艺腔室密封，易于控制工艺过程中的颗粒，工艺效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
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