[实用新型]激光退火设备

权利要求书

1.一种激光退火设备，其特征在于，包括机台，所述机台上设置有激光系统、运动系统和工艺腔室，其中：

所述运动系统包括能够相对所述机台进行y轴方向运动的横梁，所述横梁上设置有能够相对所述横梁进行x轴方向运动的第一安装板，所述第一安装板上设置有能够相对所述第一安装板进行z轴方向运动的第二安装板；

所述横梁上设置有第一反射镜，所述第一安装板上设置有第二反射镜，所述第二安装板上设置有第三反射镜、整形模块、振镜和场镜；

所述工艺腔室设置在所述机台上表面的凹陷内，所述工艺腔室顶部通过密封玻璃密封；

所述激光系统输出的y轴方向的激光经过所述第一反射镜反射为x轴方向，然后经过第二反射镜反射为z轴方向，然后经过第三反射镜反射为x轴方向，然后通过整形模块后依次进入振镜和场镜，透过所述密封玻璃照射在所述工艺腔室内的SiC晶圆上。

2.根据权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光系统包括激光器和扩束镜，所述激光器沿着y轴方向设置，所述激光器发射的y轴方向的激光经过扩束镜后输出y轴方向的激光。

3.根据权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光系统包括激光器、扩束镜和第四反射镜，所述激光器沿着x轴方向设置，所述激光器发射的x轴方向的激光经过扩束镜，再经过所述第四反射镜反射为y轴方向，输出y轴方向的激光。

4.根据权利要求3所述的激光退火设备，其特征在于，所述横梁上设置有连接板，所述第一反射镜通过第一支架连接在所述连接板上；所述第二反射镜通过第二支架连接在所述第一安装板上；所述第三反射镜通过第三支架连接在所述第二安装板上。

5.根据权利要求4所述的激光退火设备，其特征在于，所述激光器和扩束镜固定连接在所述机台上，所述第四反射镜通过第四支架连接在所述机台上。

6.根据权利要求1-5任一所述的激光退火设备，其特征在于，所述第二安装板上还设置有焦距测量仪和视觉定位系统。

7.根据权利要求6所述的激光退火设备，其特征在于，所述机台上固定设置有沿着y轴方向的第一滑轨，所述横梁与所述第一滑轨相配合；所述横梁上固定设置有沿着x轴方向的第二滑轨，所述第一安装板与所述第二滑轨相配合；所述第一安装板上固定设置有沿着z轴方向的第三滑轨，所述第二安装板与所述第三滑轨相配合。

8.根据权利要求6所述的激光退火设备，其特征在于，所述焦距测量仪通过焦距测量仪支架与所述第二安装板连接。

9.根据权利要求6所述的激光退火设备，其特征在于，所述机台上开有安装孔，所述工艺腔室安装在所述安装孔内并通过螺钉固定。

10.根据权利要求9所述的激光退火设备，其特征在于，所述密封玻璃通过真空吸附在所述工艺腔室上。