[实用新型]一种用于光刻胶生产的循环过滤装置有效
| 申请号： | 201921368622.4 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN210495947U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 周国波;陈武档;赖艺珠;梁荣增;宋里千 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D61/00 | 分类号： | B01D61/00;B01D63/00 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 张江涵 |
| 地址： | 363000 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，过滤器通过多组串联分级过滤，依据滤膜过滤直径的分级形成精细过滤，提高过滤效率；滤膜为聚四氟乙烯材质，满足光刻胶对过滤材质的要求，不污染过滤液；所述供给泵通过给过滤液加压提高过滤速率和过滤液的输送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 生产 循环 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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