[实用新型]一种用于光刻胶生产的循环过滤装置

权利要求书

1.一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，其特征在于：所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，第一储存罐的出液端通过管道与供给泵连接，所述供给泵通过管道与第一过滤器的进液口连接，第三过滤器的出液口通过管道与第二储存罐连接，第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器的过滤直径依次减小形成多级过滤，所述过滤器为囊式过滤器结构，过滤器包括外壳、外腔、滤芯和内腔，外壳为圆柱筒状结构，外壳包裹着滤芯，外壳与滤芯之间为外腔，滤芯的内端为内腔。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述过滤器的进液口和出液口设有对接接头，所述对接接头为外螺纹结构，对接接头通过转接头与管道连通。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述滤芯外端设有虑框，虑框为筒状结构，虑框内设有滤膜，滤膜为疏水性聚四氟乙烯。

4.根据权利要求3所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述虑框的下端设有端盖口，滤膜的内腔通过端盖口与过滤器的出液口连筒，端盖口与出液口密封连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述滤膜为折叠式结构，滤膜对应虑框堆叠为环形结构，且滤膜上端通过虑框密封。

6.根据权利要求5所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述的外壳的顶部与所述的滤芯的上端间留有空隙，以便过滤液通过进液口流入外腔，外腔的过滤液通过滤膜进入内腔并通过端盖口排出到出液口。

7.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述外壳两端设有气孔，外壳上端气孔与排气阀密封连接，排气阀另一端与排气管连通，排气阀内设有透气膜，外壳下端气孔通过闷盖密封连接。