[实用新型]一种在真空状态下对测温镜片更换的装置有效
申请号: | 201921364690.3 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN210945855U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 张健;许登基;刘乐乐;杨彦岭;李鹏;陈龙;徐殿翔 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36;C01B32/956 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 韩玉昆 |
地址: | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种在真空状态下对测温镜片更换的装置,包括炉体,所述炉体形成炉体腔室;三通支架,其第一端安装测温镜片,第二端与炉体腔室连通;隔离元件,其安装在所述三通支架的第二端,该隔离元件能够打开或关闭,该隔离元件关闭时将测温镜片从炉体腔室中隔离出来,以形成包含测温镜片的高温观察窗腔室;充排气机构,其与三通支架的第三端连接。本实用新型通过设置三通支架和隔离元件,将包含测温镜片的高温观察窗腔室从炉体腔室中隔离出来,在不影响温度测量的情况下,有效的避免了长晶关键时期因高温观察窗测温镜片受污染造成对长晶温度控制精度的影响,使得晶体在生长的关键时期得到精确有效控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 状态 测温 镜片 更换 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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