[实用新型]一种晶体材料均一化抛光装置有效
| 申请号： | 201921349656.9 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN210435923U | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 董志刚;马堃;刘子源 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B47/20;B24B41/06;B24B51/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 刘振龙 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体材料均一化抛光装置，包括：进给单元、夹持单元、抛光单元和控制单元；所述进给单元，用于带动工件沿设定运动轨迹在抛光单元表面运动，并实时将其运动轨迹相关信息反馈至控制单元；所述夹持单元，用于夹持工件并使工件在运动过程中自转，同时用于对工件提供一定的加载力；所述抛光单元，用于对在其表面运动的工件进行抛光；所述控制单元，用于控制所述进给单元的运动轨迹及控制夹持单元的加载力。通过上述方式，本实用新型能够保证工件去除率的均一性、提高工件的几何精度和表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 材料 均一 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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