[实用新型]一种晶体材料均一化抛光装置

权利要求书

1.一种晶体材料均一化抛光装置，其特征在于，包括：进给单元、夹持单元、抛光单元和控制单元；

所述进给单元，用于带动工件沿设定运动轨迹在抛光单元上运动，并实时将其运动轨迹相关信息反馈至控制单元；

所述夹持单元，用于夹持工件并使工件在运动过程中自转，同时用于对工件提供加载力；

所述抛光单元，用于对工件进行抛光；

所述控制单元，用于控制所述进给单元的运动轨迹及控制夹持单元的加载力。

2.根据权利要求1所述的晶体材料均一化抛光装置，其特征在于，所述进给单元和抛光单元平行设置，所述夹持单元与进给单元连接。

3.根据权利要求2所述的晶体材料均一化抛光装置，其特征在于，所述抛光单元包括：气体静压转台和抛光盘，所述抛光盘安装在所述气体静压转台上。

4.根据权利要求2所述的晶体材料均一化抛光装置，其特征在于，所述进给单元包括：摆臂、伸缩臂和支座，所述支座固定在隔振平台上，所述摆臂安装在所述支座上并在所述支座上转动，所述伸缩臂安装在所述摆臂上并能沿着摆臂前后水平移动。

5.根据权利要求4所述的晶体材料均一化抛光装置，其特征在于，所述摆臂的前端圆弧端下方固定有圆光栅，所述伸缩臂的侧壁上固定有水平光栅，所述支座上还安装有用于获取圆光栅旋转角度的角度传感器，所述伸缩臂的侧壁上还安装有用于获取水平光栅位移量的位置传感器。

6.根据权利要求2所述的晶体材料均一化抛光装置，其特征在于，所述夹持单元包括：拨叉、调速电机、主动轮、限位轮和加压装置，所述加压装置固定在所述拨叉上，用于对位于拨叉内的工件提供加载力；所述限位轮有多个且间隔分布在所述拨叉的圆周面下方，所述限位轮与主动轮相互配合将工件夹持限位在拨叉内，所述调速电机用于带动主动轮转动，所述主动轮用于带动工件自转。