[实用新型]一种用于精密仪器的防微震基座有效
申请号: | 201921316521.2 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN210319099U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 商富祥;商富彬 | 申请(专利权)人: | 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司 |
主分类号: | F16M5/00 | 分类号: | F16M5/00;F16F15/02 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 毛洪梅 |
地址: | 224000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及精密设备技术领域,具体为一种用于精密仪器的防微震基座,包括机体和底座,所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块,所述圆形凸块卡接在第一放置槽中,所述第一放置槽设置在柱体上,柱体一体成型设置在主体的上端,所述主体底端卡接在第二放置槽中,所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端,所述滑板两侧一体成型对称设置滑块,对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座,通过本实用新型可以快捷进行安装、拆卸和更换,从而保证防微震基座的防震性能,进而保证精密仪器的工作质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 精密仪器 防微震 基座 | ||
【主权项】:
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