[实用新型]一种用于精密仪器的防微震基座有效

专利信息
申请号: 201921316521.2 申请日: 2019-08-14
公开(公告)号: CN210319099U 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 商富祥;商富彬 申请(专利权)人: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
主分类号: F16M5/00 分类号: F16M5/00;F16F15/02
代理公司: 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 代理人: 毛洪梅
地址: 224000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 精密仪器 防微震 基座
【说明书】:

实用新型涉及精密设备技术领域,具体为一种用于精密仪器的防微震基座,包括机体和底座,所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块,所述圆形凸块卡接在第一放置槽中,所述第一放置槽设置在柱体上,柱体一体成型设置在主体的上端,所述主体底端卡接在第二放置槽中,所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端,所述滑板两侧一体成型对称设置滑块,对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座,通过本实用新型可以快捷进行安装、拆卸和更换,从而保证防微震基座的防震性能,进而保证精密仪器的工作质量。

技术领域

本实用新型涉及精密设备技术领域,具体为一种用于精密仪器的防微震基座。

背景技术

基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台,通过设有钢铁配件与精密仪器固定连接,其稳固性和尺寸精度直接影响仪器的工作精度,对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大的影响,特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高行业中,现有技术下对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座的安装通常都是通过固定螺钉固定在地面或者通过混凝土的凝固作用来实现固定连接,即将防微震基座嵌入混凝土中,这样虽然起到了固定安装,若是出现故障需要对防震基座进行检修和更换就会非常麻烦,进而影响防震效果,影响精密仪器的工作质量,为此,本实用新型提出一种用于精密仪器的防微震基座用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的防微震基座,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于精密仪器的防微震基座,包括机体和底座,所述机体底端一体成型对称设置圆形凸块,所述圆形凸块卡接在第一放置槽中,所述第一放置槽设置在柱体上,柱体一体成型设置在主体的上端,所述主体底端卡接在第二放置槽中,所述第二放置槽一体成型设置在滑板上端,所述滑板两侧一体成型对称设置滑块,所述滑板一端一体成型设置拉环,所述滑块滑动连接第一滑槽,所述第一滑槽对称设置在第一凹槽两侧,所述第一凹槽设置在底座上,所述第一凹槽内侧两边对称设置第二滑槽、固定孔,所述固定孔插接有销钉,所述第一凹槽底端设置第二凹槽,所述第二凹槽贯穿设置齿条,所述齿条一端一体成型设置支撑板、另一端延伸至第三凹槽中,所述第三凹槽设置在底座边侧,所述齿条与齿轮啮合连接,所述齿轮焊接在转动轴的一端,所述转动轴另一端一体成型设置圆盘,所述转动轴贯穿设置在固定板中,所述固定板与底座通过螺钉固定连接,所述底座底端边侧一体成型对称设置连接脚,所述连接脚设置固定孔。

优选的,所述第一滑槽与第二滑槽相连通设置,第二滑槽与滑块设置位置相对应,并且第一凹槽同一边侧上两个第二滑槽之间的距离与滑板同一边侧上两个滑块之间的距离相等。

优选的,所述圆形凸块直径与第一放置槽直径相同。

优选的,所述齿条与齿轮齿形角、模数相同。

优选的,所述支撑板直径与第二凹槽直径相同,支撑板厚度与第二凹槽高度相同。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

对于半导体及光电子无尘室精密测量机台的防微震基座,通过本实用新型可以快捷进行安装、拆卸和更换,从而保证防微震基座的防震性能,进而保证精密仪器的工作质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型底座结构连接俯视图;

图3为本实用新型底座结构连接仰视图;

图4为本实用新型放置槽与滑板连接结构示意图。

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