[实用新型]一种防微振平台

摘要

本实用新型提供了一种防微振平台，包括沿竖直方向层叠的工艺层及回风层，工艺层位于回风层的上方。防微振平台还包括环绕设置在工艺层上的第一围护墙、以及环绕设置在回风层上的第二围护墙。防微振平台还包括设置在第一围护墙顶部且与工艺层相对的过滤器。该防微振平台还包括用于支撑所述工艺层及所述回风层且阵列排列的多个支撑柱。工艺层包括位于每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的cheese板、以及位于由cheese板围成的口字形区域内的华夫板，且cheese板及华夫板上设置有与第一回风夹道连通的通孔。通过在工艺层上相邻的两个支撑柱之间设置cheese板、在由cheese板围成的口字型区域内设置华夫板，以提高工艺层上的竖向刚度，提高工艺层的防微振性能。