[实用新型]一种新型真空镀膜室有效

专利信息
申请号: 201921292758.1 申请日: 2019-08-09
公开(公告)号: CN210215537U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 何磊;穆义林;王波;曾兵;聂宏波;叶海铭;陈睿 申请(专利权)人: 中建材(内江)玻璃高新技术有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/56;C23C14/34
代理公司: 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 代理人: 李蕊
地址: 641200 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种新型真空镀膜室,包括筒身,筒身两侧的底部分别开设有真空口和氩气口,筒身一侧的顶部固定设有气压表,筒身的正面铰接有密封门,筒身两侧的内壁分别固定设有相互串联的阴极和阳极,筒身内部的底端通过轴承与转轴的底端转动连接,转轴的底部、中部和顶部均固定设有托板,本实用新型一种新型真空镀膜室,通过减速电机驱动转轴转动,可以使支撑条上的物料与转轴同步转动,物料在筒身内部做圆周运动,从而避免了物料镀膜效果不均匀的现象,提高了对物料的镀膜质量,通过真空口便于抽取筒身内部的空气,使筒身的内部处于真空状态,通过氩气口便于往筒身内输送氩气。
搜索关键词: 一种 新型 真空镀膜
【主权项】:
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