[实用新型]显影剂喷淋系统有效
| 申请号： | 201921228259.6 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210294805U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 荣卿烨 | 申请（专利权）人： | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 贾传美;赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供显影剂喷淋系统，包括：喷头，用于喷淋药剂；气动阀，进口接药剂罐、出口接喷头，用于控制喷头喷淋药剂的动作；电磁阀，制动端接控制器、出口接气动阀的制动端、进口接氮气罐，用于控制气动阀的启动；氮气罐，通过管道接药剂罐，氮气罐通过管道输出的氮气分为两路，一路通入药剂罐，另一路通到电磁阀，用电磁阀控制氮气的通断，电磁阀接通后，氮气通入气动阀，气动阀的一端接液罐的出液口，另一端通到喷头，这样使用耐腐蚀的气动阀就可以控制药剂的通断，结构简单、成本低，功能完全替代，喷液流量控制更加稳定，备件国产化，提升机台稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 显影剂 喷淋 系统 | ||
【主权项】：
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